CICIMA: Centro de Investigación en Ciencia e Ingeniería de Materiales

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Centro de Investigación en Ciencia e Ingeniería de Materiales (CICIMA)

Equipos: Campanas HV y UHV

CAMPANAS DE ALTO VACÍO Y ULTRA ALTO VACÍO

Son sistemas destinados a producir muestras de películas nanométricas para su posterior estudio. Todos los sistemas son evacuados del aire atmosférico por medio de bombas mecánicas de rotación en conjunto con bombas turbomoleculares que permiten alcanzar altos niveles de vacío.

Sistema_sputteringfoto1

Sistema_HV

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Izquierda: Sistema de magnetrón para crecimiento de muestras por técnica de "sputtering". Dentro de la recámara al alto vacío se hace ingresar gas argón de alta pureza. Un voltaje de radiofrecuencia se encarga de ionizar el gas. Los iones resultantes son acelerados hacia un disco ("blanco") de un material puro (Aluminio, Cobre, Oro, etc.). El impacto del ión con los átomos del blanco produce que éstos sean removidos del material y vuelen hacia un sustrato situado en la parte opuesta de la recámara. Allí se depositan y producen la capa nanométrica del material puro. Este sistema es muy usado para depositar contactos metálicos sobre vidrio o silicio.

 

Centro: Sistema de Ultra Alto Vacío. A este sistema se le conoce también por el nombre de "Molecular Beam Epitaxy system" (MBE). Consiste de una campana que puede evacuarse hasta un vacío del orden de 10-10 Torr (10-13 atmósferas), equivalente al vacío existente en el espacio interestelar. Tiene acoplados varios sistemas para crecimiento y caracterización de muestras: un canón de electrones con crisol de molibdeno para depositación de muestras sobre diversos sustratos, un espectrómetro de masas para determinación de gases residuales en la campana, un espectrómetro Auger (AES) basado en analizador cilíndrico de doble paso y un espectrómetro de fotoelectrones de rayos X (XPS). Estos dos últimos espectrómetros se usan para la determinación y cuantificación de elementos químicos presentes en las superficies de las muestras generadas.

 

Derecha: Sistema de Alto Vacío. Las muestras que se producen en este sistema se logran por evaporación en un crisol que al calentarse por corriente eléctrica subliman el material presente (usualmente metales como Paladio, Gadolinio y Aluminio). La recámara tiene una cubierta de vidrio puesta en la parte superior del sistema (con coloración dorada). Se pueden alcanzar vacíos del orden de 10-7 Torr (10-10 atmósferas). En este sistema permite ingresar gas hidrógeno para el estudio de muestras nanométricas hidrogenadas.